電子工藝設(shè)備技術(shù)性能研究
- 發(fā)布者：信 息 資 訊 發(fā)表時(shí)間:2018-11-06
- 首要，用戶(hù)需求明晰的是工藝技能方針要求絕對(duì)不等同于對(duì)工藝設(shè)備的技能功用方針要求，需求將工藝技能方針要求有用轉(zhuǎn)化為對(duì)工藝設(shè)備的技能功用方針要求；其次，用戶(hù)有必要明晰電子工藝設(shè)備的運(yùn)用環(huán)境，在相同的工藝技能方針條件下，運(yùn)用環(huán)境的不同，會(huì)導(dǎo)致對(duì)工藝設(shè)備的技能功用方針要求存在巨大不同。
用戶(hù)提出完好和精確的電子工藝設(shè)備技能功用方針內(nèi)容，是一項(xiàng)雜亂的作業(yè)，要求專(zhuān)業(yè)技能水平高、歸納常識(shí)才能強(qiáng)?，F(xiàn)在，許多電子工藝設(shè)備用戶(hù)在提出設(shè)備技能功用方針時(shí)，一般存在未將工藝技能及運(yùn)用環(huán)境要求有用轉(zhuǎn)化為工藝設(shè)備的技能功用要求，造成對(duì)工藝設(shè)備的技能功用方針內(nèi)容要素不完好、要害技能要求不行科學(xué)合理、工藝設(shè)備的運(yùn)用環(huán)境制約缺失等現(xiàn)象，造成購(gòu)買(mǎi)的電子工藝設(shè)備不能徹底滿意工藝技能要求或性?xún)r(jià)比不高的狀況。因而，有必要對(duì)電子工藝設(shè)備技能功用方針的提出方法和完善內(nèi)容進(jìn)行研討。1 功用方針提出方法研討
提出電子工藝設(shè)備技能功用方針是具有不同階段的接連性作業(yè)，這種接連性作業(yè)組成一個(gè)完好進(jìn)程，一般可以分為：預(yù)備、正式提出、專(zhuān)家評(píng)定及修正完善三個(gè)階段。
1.1 提出功用方針的預(yù)備階段
購(gòu)買(mǎi)電子工藝設(shè)備是為了裝備在工藝線上，完結(jié)電子產(chǎn)品制造中的特定工序工藝方針。
首要，剖析工藝道路。將電子產(chǎn)品制造的工藝道路計(jì)劃用流程圖方法表明出來(lái)，細(xì)心剖析清楚挑選的工藝道路計(jì)劃，然后深入研討擬購(gòu)電子工藝設(shè)備的本工序可挑選的各種工藝方法，并針對(duì)不同工藝方法對(duì)工藝道路計(jì)劃、本工序的上下工序影響進(jìn)行細(xì)心剖析研討。
第二，將工藝技能方針要求轉(zhuǎn)化為電子工藝設(shè)備技能功用方針。經(jīng)過(guò)對(duì)擬購(gòu)電子工藝設(shè)備的本工序各種可挑選工藝方法的細(xì)心剖析研討，在保證與工藝道路計(jì)劃及上下工序有機(jī)聯(lián)接根底上，對(duì)可挑選的工藝技能方法提出相應(yīng)工藝技能方針要求，然后將工藝技能方針要求轉(zhuǎn)化為對(duì)應(yīng)的電子工藝設(shè)備技能功用方針要求，如：磁控濺射設(shè)備，工藝技能要求的膜與基片之間的附著力需求轉(zhuǎn)化為磁控濺射設(shè)備的真空度方針以及對(duì)基片外表的清潔度要求。
第三，剖析運(yùn)用環(huán)境要求。電子工藝設(shè)備運(yùn)用環(huán)境不同，對(duì)設(shè)備的挑選自然存在巨大差異。關(guān)于純科研環(huán)境運(yùn)用的設(shè)備，由于存在進(jìn)行不同條件下科研實(shí)驗(yàn)的要求，設(shè)備需求常常進(jìn)行參數(shù)等調(diào)整，因而，廣泛的適應(yīng)性和耐用性是榜首要?jiǎng)?wù)；關(guān)于科研試制兼小批量出產(chǎn)環(huán)境運(yùn)用的設(shè)備，由于既需求進(jìn)行不同環(huán)境下的科研實(shí)驗(yàn)，一起也需求有小批量的出產(chǎn)才能，因而，杰出的可擴(kuò)展性、耐用性、運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性和恰當(dāng)?shù)呐霎a(chǎn)才能平衡是榜首要?jiǎng)?wù)；關(guān)于大批量出產(chǎn)環(huán)境運(yùn)用的設(shè)備，由于存在作業(yè)期間不能停機(jī)的要求，無(wú)毛病接連運(yùn)轉(zhuǎn)才能和杰出售后服務(wù)保證為榜首要?jiǎng)?wù)。用戶(hù)應(yīng)該將這些不同環(huán)境運(yùn)用特征要求轉(zhuǎn)化為對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備技能功用方針及條件要求。如：磁控濺射設(shè)備，在滿意工藝技能要求前提下，針對(duì)科研環(huán)境運(yùn)用的要害要求是基片尺度的杰出可擴(kuò)展性和不同基材的廣泛適應(yīng)性，至于無(wú)毛病接連運(yùn)轉(zhuǎn)才能則放在較次要位置；針對(duì)大批量出產(chǎn)環(huán)境運(yùn)用的要害要求是無(wú)毛病接連運(yùn)轉(zhuǎn)才能，至于杰出可擴(kuò)展性和廣泛適應(yīng)性則根本不做特別要求。
第四，進(jìn)行市場(chǎng)調(diào)研。建立調(diào)研作業(yè)組，對(duì)可供挑選的電子工藝設(shè)備進(jìn)行廣泛的市場(chǎng)調(diào)研。調(diào)研調(diào)查制造廠商的商譽(yù)度、制造車(chē)間環(huán)境、規(guī)范履行系統(tǒng)、質(zhì)量操控系統(tǒng)、出產(chǎn)規(guī)模、制造的電子工藝設(shè)備先進(jìn)性和質(zhì)量牢靠性、人機(jī)工程運(yùn)用、制造商在同行業(yè)位置、制造的電子工藝設(shè)備在同類(lèi)產(chǎn)品中的位置、規(guī)劃制造團(tuán)隊(duì)狀況、售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)實(shí)力、已售電子工藝設(shè)備在用戶(hù)中的名譽(yù)、對(duì)外協(xié)作鏈條等內(nèi)容；到同類(lèi)用戶(hù)單位調(diào)研同類(lèi)電子工藝設(shè)備的人機(jī)作用、運(yùn)用的簡(jiǎn)練性、運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性、對(duì)工藝技能要求的適應(yīng)性及擴(kuò)展性、無(wú)毛病作業(yè)時(shí)刻、運(yùn)用功率、運(yùn)轉(zhuǎn)本錢(qián)、安全性、售后服務(wù)保證才能等內(nèi)容；對(duì)新工藝技能，尋覓典型制造商及設(shè)備進(jìn)行工藝實(shí)驗(yàn)，經(jīng)過(guò)工藝實(shí)驗(yàn)，將此工藝技能要求有用轉(zhuǎn)化為對(duì)電子工藝設(shè)備的技能功用及條件要求。
第五，對(duì)市場(chǎng)調(diào)研狀況進(jìn)行具體整理分類(lèi)。用表格方法將電子工藝設(shè)備制造商的歸納實(shí)力、搶先領(lǐng)域及技能、規(guī)劃開(kāi)發(fā)及制造才能、質(zhì)量規(guī)范系統(tǒng)完好性、技能支撐及售后服務(wù)保證才能等內(nèi)容；各類(lèi)型設(shè)備人機(jī)環(huán)境、先進(jìn)性、運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性和牢靠性、工藝技能的適應(yīng)性和擴(kuò)展性、耐用性、產(chǎn)能、運(yùn)轉(zhuǎn)本錢(qián)及安全性等內(nèi)容別離列出，進(jìn)行比較剖析并排名，然后撰寫(xiě)具體的調(diào)研報(bào)告。
1.2 正式提出功用方針階段
依據(jù)運(yùn)用環(huán)境，依照保證工序良品率，工藝簡(jiǎn)練性、一致性、重復(fù)性、批產(chǎn)性、功率、經(jīng)濟(jì)性等特征的工藝技能要求，結(jié)合電子工藝設(shè)備人機(jī)作用、工藝適應(yīng)性和擴(kuò)展性、運(yùn)轉(zhuǎn)牢靠性和穩(wěn)定性、出資本錢(qián)及生命周期內(nèi)歸納效益等統(tǒng)籌平衡，以具有最佳功率和經(jīng)濟(jì)效益為準(zhǔn)則，選定最有利的工藝技能方法，以此斷定電子工藝設(shè)備類(lèi)型。然后將工藝技能要求有用轉(zhuǎn)化為對(duì)電子工藝設(shè)備的具體技能功用方針和條件要求。工藝技能要求有用轉(zhuǎn)化為電子工藝設(shè)備技能功用要求時(shí)，要以技能牢靠及先進(jìn)性、工藝技能適用性、短期效益與長(zhǎng)時(shí)刻效益的歸納平衡為準(zhǔn)則，既要避免僅考慮技能不考慮經(jīng)濟(jì)效益的高配低用現(xiàn)象，又要避免僅考慮電子工藝設(shè)備直接出資本錢(qián)不考慮技能牢靠先進(jìn)性和運(yùn)用壽命周期內(nèi)的歸納效益現(xiàn)象。
這兒要特別強(qiáng)調(diào)對(duì)電子工藝設(shè)備運(yùn)用環(huán)境的注重，環(huán)境差異會(huì)造成對(duì)電子工藝設(shè)備要求的差異，如光刻工序，若光刻0.18 μm 線條，針對(duì)科研環(huán)境運(yùn)用一般選用電子束曝光方法，而針對(duì)大批量出產(chǎn)環(huán)境運(yùn)用必定是選用步進(jìn)式曝光方法。這兩種曝光方法的工藝設(shè)備無(wú)論是技能功用仍是直接出資本錢(qián)方面都存在巨大差異。
1.3 專(zhuān)家評(píng)定及修正完善階段
電子工藝設(shè)備技能功用方針和條件要求是一個(gè)非常雜亂的歸納性技能文件，為了保證技能功用方針和條件要求的正確性和完好性，安排專(zhuān)家進(jìn)行評(píng)定是一個(gè)不行短少的環(huán)節(jié)。
專(zhuān)家評(píng)定內(nèi)容：文件中的工藝技能方法挑選是否正確？電子工藝設(shè)備類(lèi)別挑選是否符合運(yùn)用環(huán)境要求？電子工藝設(shè)備技能功用和條件要求與工藝技能的最佳匹配性、技能功用方針的完好性、技能條款的科學(xué)合理性、技能要素描繪的精確性、技能支撐和售后服務(wù)要求的合理性等。
專(zhuān)家評(píng)定不僅是發(fā)現(xiàn)文件中工藝挑選正確性和運(yùn)用環(huán)境匹配性、提出的工藝設(shè)備技能功用方針缺項(xiàng)、匹配性、科學(xué)合理規(guī)范等問(wèn)題，而且也是對(duì)該文件質(zhì)量的有用查驗(yàn)。若用Q 表明文件的質(zhì)量高低，則Q=（E -ΔE / E）×100%（E- 提交評(píng)定文件包括的技能要素，ΔE- 專(zhuān)家評(píng)定提出需求進(jìn)行彌補(bǔ)完善修正的技能要素），當(dāng)Q= 100%時(shí)，闡明文件編寫(xiě)質(zhì)量完美，專(zhuān)家未提出需求彌補(bǔ)完善修正的要素；當(dāng)Q＜100%時(shí)，闡明提交專(zhuān)家評(píng)定的文件需求彌補(bǔ)完善修正，Q 越小闡明需求彌補(bǔ)修正完善的要素越多，文件質(zhì)量越差。一般Q≥98%判定為優(yōu)秀，96%≤Q＜98%判定為杰出，94%≤Q＜96%判定為合格，Q＜94%判定為不合格。
專(zhuān)家評(píng)定完結(jié)后，構(gòu)成專(zhuān)家組意見(jiàn)，職責(zé)團(tuán)隊(duì)按此進(jìn)行細(xì)心細(xì)心整理修正完善，構(gòu)成正式的電子工藝設(shè)備技能功用方針及條件要求技能文件。
2 功用方針的內(nèi)容研討
2.1 技能功用方針的組成
電子工藝設(shè)備技能功用方針一般包括下列8方面：用處、首要組成及功用要求、具體技能功用方針、運(yùn)用水電氣動(dòng)力條件要求、設(shè)備場(chǎng)所條件要求、環(huán)境保護(hù)和節(jié)能減排要求、設(shè)備檢驗(yàn)的具體項(xiàng)目和方針要求、設(shè)備調(diào)試及技能訓(xùn)練和售后服務(wù)要求。
2.2 電子工藝設(shè)備的用處
用戶(hù)需明晰精確描繪電子工藝設(shè)備的用處。在相同工序，不同電子產(chǎn)品對(duì)電子工藝設(shè)備的具體要求存在差異，給電子工藝設(shè)備制造商明晰精確的設(shè)備用處信息，使他們能提供與用處徹底匹配的設(shè)備。如單面光刻機(jī)和雙面光刻機(jī)均是用來(lái)制造線條的，但它們的用處存在巨大差異；又如涂膠顯影機(jī)，針對(duì)具有壓電特性資料的鈮酸鋰等基片，需求在設(shè)備中裝備去電子云設(shè)備，一般硅資料就不需求。
2.3 設(shè)備首要組成及功用要求
電子工藝設(shè)備首要組成決議設(shè)備的完好性，首要功用決議設(shè)備的結(jié)構(gòu)挑選、工藝適用性、經(jīng)濟(jì)性、牢靠性等方面。功用需求具體描繪，由于功用不能全用量化技能方針表明，技能方針是對(duì)部分要害功用好壞的具體量化。因而，用戶(hù)對(duì)設(shè)備功用的描繪要完好、明晰、精確。斷定工藝設(shè)備首要組成，是保證設(shè)備滿意運(yùn)用要求的根底，更是支撐選用高新、節(jié)能環(huán)保技能，保證工藝設(shè)備運(yùn)用的可持續(xù)性、經(jīng)濟(jì)合理性、可擴(kuò)展性、可保護(hù)性、有用運(yùn)用壽命的必然要求。電子工藝設(shè)備組成一般包括：機(jī)械部分各單元、電器部分各單元、操控部分各單元等。
2.4 設(shè)備的具體技能功用方針
電子工藝設(shè)備具體技能功用方針是技能文件的中心，是保證設(shè)備與工藝技能要求徹底匹配、具有杰出經(jīng)濟(jì)運(yùn)轉(zhuǎn)性、牢靠性、保護(hù)修理簡(jiǎn)練便利性等的要害保證。工藝設(shè)備技能功用方針寫(xiě)得越具體、完好、精確，設(shè)備各種定位就越明晰精確，與工藝技能及運(yùn)用環(huán)境要求的匹配性就愈加完美。具體技能功用方針應(yīng)包括：設(shè)備的結(jié)構(gòu)要求、操控方法、作業(yè)方法、有用作業(yè)尺度規(guī)模、精度、重復(fù)性、一致性、穩(wěn)定性、牢靠性、工藝適用規(guī)模、與工藝有關(guān)的溶液和溶質(zhì)、時(shí)刻節(jié)拍、無(wú)毛病作業(yè)時(shí)刻、質(zhì)量規(guī)范和計(jì)量系統(tǒng)、毛病報(bào)警方法、安全性要求等內(nèi)容。
2.5 運(yùn)用水、電、氣等動(dòng)力條件要求
水、電、氣等動(dòng)力條件往往不受用戶(hù)所控，國(guó)家規(guī)范和市政條件將其限制在必定規(guī)模。因而，盡量依照國(guó)家規(guī)范和市政規(guī)范，明晰提出電子工藝設(shè)備運(yùn)用水、電、氣等動(dòng)力條件，避免進(jìn)行重大改造添加更多出資本錢(qián)。
2.6 設(shè)備場(chǎng)所對(duì)設(shè)備的要求
關(guān)于用戶(hù)來(lái)說(shuō)，電子工藝設(shè)備的設(shè)備場(chǎng)所是現(xiàn)已斷定好的，應(yīng)明晰提出設(shè)備條件對(duì)設(shè)備的制約要求，避免對(duì)場(chǎng)所進(jìn)行重大改造以滿意設(shè)備出場(chǎng)和設(shè)備，添加出資本錢(qián)。一般需求明晰工藝設(shè)備的長(zhǎng)×寬×高尺度、分量、抗微震等要求。
2.7 滿意環(huán)境保護(hù)和節(jié)能減排的要求
依據(jù)國(guó)家環(huán)保、節(jié)能減排的法規(guī)和規(guī)范，對(duì)電子工藝設(shè)備提出相應(yīng)的要求，保證設(shè)備歸于環(huán)保節(jié)能型，滿意國(guó)家強(qiáng)制規(guī)范要求。
2.8 檢驗(yàn)的具體內(nèi)容及方針要求
電子工藝設(shè)備檢驗(yàn)一般分為預(yù)檢驗(yàn)和終檢驗(yàn)兩階段。
預(yù)檢驗(yàn)在設(shè)備制造工廠進(jìn)行，一般工藝設(shè)備由制造商自行安排，雜亂設(shè)備由制造商和用戶(hù)一起進(jìn)行。預(yù)檢驗(yàn)的意圖是使電子工藝設(shè)備發(fā)貨前，各種狀況抵達(dá)最佳以滿意合同規(guī)則的技能功用要求，一起對(duì)預(yù)檢驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題進(jìn)行及時(shí)便利處理，為終究檢驗(yàn)發(fā)明杰出條件。終究檢驗(yàn)是在運(yùn)用場(chǎng)所設(shè)備完結(jié)后，移送用戶(hù)前，依照規(guī)則內(nèi)容所進(jìn)行的各種測(cè)驗(yàn)、實(shí)驗(yàn)及運(yùn)轉(zhuǎn)，以保證移送用戶(hù)時(shí)工藝設(shè)備的完好性和杰出的運(yùn)轉(zhuǎn)性。設(shè)備檢驗(yàn)是特別重要的階段，因而，依據(jù)預(yù)檢驗(yàn)和終究檢驗(yàn)不同意圖，在技能功用方針文件中有必要具體列明兩階段檢驗(yàn)的具體內(nèi)容和方針、檢驗(yàn)方法、核算方法等，抵達(dá)檢驗(yàn)方針的具體標(biāo)志，未抵達(dá)方針的處理方法。最好用表格方法列明檢驗(yàn)內(nèi)容，這樣顯得更簡(jiǎn)練、明晰、精確。
預(yù)檢驗(yàn)以設(shè)備本身的結(jié)構(gòu)和功用方針查核為主，首要內(nèi)容是工藝設(shè)備的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度檢測(cè)、功用完善性、首要方針和精度、重復(fù)性、一致性、運(yùn)轉(zhuǎn)狀況、工藝適應(yīng)性、工藝精度等方面。技能文件中有必要規(guī)則制造商自行安排預(yù)檢驗(yàn)時(shí)，需求制造可追溯的有用記載文件。
終檢驗(yàn)是設(shè)備設(shè)備調(diào)試和人員訓(xùn)練作業(yè)完結(jié)后，正式移送用戶(hù)時(shí)進(jìn)行的檢驗(yàn)作業(yè)，檢驗(yàn)內(nèi)容需求全面、具體，預(yù)檢驗(yàn)過(guò)的內(nèi)容也要重新檢驗(yàn)一遍。終檢驗(yàn)需求有電子工藝設(shè)備供方代表和用戶(hù)代表一起簽訂具有法律效力的具體記載和協(xié)議。
關(guān)于未抵達(dá)檢驗(yàn)規(guī)范的項(xiàng)目處理方法、正式檢驗(yàn)時(shí)刻核算日、設(shè)備保修核算起止時(shí)刻等內(nèi)容有必要明晰。設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)、電器、操控原理圖、操作手冊(cè)、修理手冊(cè)等均應(yīng)作為檢驗(yàn)內(nèi)容。
2.9 設(shè)備調(diào)試和技能訓(xùn)練及售后服務(wù)要求
設(shè)備調(diào)試和技能訓(xùn)練是電子工藝設(shè)備在運(yùn)用現(xiàn)場(chǎng)的中心內(nèi)容，是保證設(shè)備正常、杰出運(yùn)轉(zhuǎn)的要害作業(yè)。用戶(hù)有必要明晰精確提出設(shè)備調(diào)試和技能訓(xùn)練的具體要求，一般包括：供方到用戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行設(shè)備調(diào)試和技能訓(xùn)練的工程師類(lèi)別及等級(jí)、工程師人數(shù)、作業(yè)天數(shù)、完結(jié)的作業(yè)內(nèi)容、開(kāi)端對(duì)用戶(hù)技能人員（操作人員、修理保護(hù)人員等各多少名）進(jìn)行訓(xùn)練的時(shí)刻等方面。訓(xùn)練的具體內(nèi)容應(yīng)含設(shè)備的構(gòu)成、原理、功用、運(yùn)用工藝規(guī)模、特別注意事項(xiàng)、根本操作及高檔操作、工藝制造、日常運(yùn)轉(zhuǎn)管理、日常保護(hù)、毛病診斷及掃除，對(duì)外圍條件的保證要求等。
售后服務(wù)是電子工藝設(shè)備的重要條件，要求設(shè)備百分之百不出毛病是不科學(xué)的，應(yīng)該提出設(shè)備的無(wú)毛病作業(yè)時(shí)刻，要害是用戶(hù)提出工藝設(shè)備呈現(xiàn)毛病后，設(shè)備供應(yīng)方需在短時(shí)刻內(nèi)消除毛病，不影響設(shè)備完結(jié)科研出產(chǎn)任務(wù)。用戶(hù)需求提出設(shè)備移送后，設(shè)備制造商對(duì)設(shè)備呈現(xiàn)毛病后的反應(yīng)速度、抵達(dá)現(xiàn)場(chǎng)掃除毛病的時(shí)刻、觸及零部件替換的時(shí)刻要求、在規(guī)則時(shí)刻內(nèi)未完結(jié)毛病掃除的處分方法、針對(duì)雜亂電子工藝設(shè)備每年的日常巡檢次數(shù)和內(nèi)容及作業(yè)時(shí)刻等內(nèi)容。
3 結(jié)束語(yǔ)
總歸，提出電子工藝設(shè)備技能功用方針和條件是一個(gè)非常雜亂、具有高難度的作業(yè)，用戶(hù)應(yīng)該安排規(guī)劃、運(yùn)用、修理等技能人員組成團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)對(duì)工藝技能和電子工藝設(shè)備進(jìn)行研討，盡量提出科學(xué)完善、與工藝技能和運(yùn)用環(huán)境要求徹底匹配的技能功用方針系統(tǒng)。找不到想找的產(chǎn)品?請(qǐng)點(diǎn)擊 產(chǎn)品導(dǎo)航頁(yè)
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